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Konferenzschrift
Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
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2018
Conference Paper
Title
Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
Author(s)
Dittmar, Nils
Küchler, Matthias
Meinecke, Christoph Robert
Reuter, Danny
Otto, Thomas
Mainwork
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018
Conference
Fachtagung Mikrosystemtechnik 2018
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
