Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit

Der folgende Beitrag beschreibt eine systematische Vorgehensweise, die für die Prüfung von allen in Reinräumen einzusetzenden Fertigungseinrichtungen angewendet werden kann. Durch die Vielfalt der Einrichtungen werden diese entsprechenden Kategorien zugeordnet. Jede Kategorie von Fertigungseinrichtungen kann nach dem selben Schema untersucht werden. Hierfür werden die Parameter einer jeden Kategorie aufgezeigt, die die Reinheitstauglichkeit beeinflussen. Anhand der Definition von Bereichen, in denen die Untersuchungen durchzuführen sind, werden die Meßvorgehensweisen beschrieben. Die Bestimmung von luftgetragenen Partikeln nimmt durch die Einfachheit der Durchführung eine zentrale Stellung bei der Meßdurchführung ein. Um diese Meßergebnisse mit entsprechenden Genauigkeitsgrenzen anzugeben, müssen die Daten statistisch ausgewertet werden. Die hierfür notwendigen Voraussetzungen und Vorgehensweisen der praktischen Durchführung der Auswertung werden beschrieben.