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Buch
Entwicklung und konstruktive Auslegung einer Gasflußsputterquelle
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1999
Book
Title
Entwicklung und konstruktive Auslegung einer Gasflußsputterquelle
Title Supplement
Ein konstruktiver Entwurf
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Author(s)
Hassan, G.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST