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Abschlussarbeit
Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Strukturen auf der Silicium- und Kohlenstoffseite von 4H-Siliciumcarbid
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2010
Doctoral Thesis
Title
Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Strukturen auf der Silicium- und Kohlenstoffseite von 4H-Siliciumcarbid
Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2010
Author(s)
Grieb, M.
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB