2010
Diploma Thesis
Title

Charakterisierung der Ratenabhängigkeit und Optimierung der Ratenstabilität und Abscheidungshomogenität der VTE-Organikquellen sowie Vergleich mit OVPD-Quellen und einer Linearquelle der COMEDD Gen2 Pilotfertigungslinie

Thesis Note
Zwickau, Hochschule, Dipl.-Arb., 2010
Author(s)
Kölle, K.
Person Involved
Crämer, K.
Neidhardt, A.
Publishing Place
Dresden
Language
German