2005
Doctoral Thesis
Titel

Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolitographie
Alternative
Development of the crystal growth facility and experimental investigation of CaF2 crystal growth for microlithography
ThesisNote
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Author(s)
Molchanov, A.
Verlagsort
Erlangen
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Language
German