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2008
Journal Article
Title
Verschleissschutz - Extrem harte Kohlenstoffschichten unter Fertigungsbedingungen abscheidbar
Abstract
Extrem harte Kohlenstoffschichten lassen sich im PVD-Verfahren abscheiden, nach dem Laser-Arc-Prinzip, wobei für die Steuerung der Bogenentladung auf der Kathodenoberfläche ein Pulslaser ausreichend ist. Dieser Laser ist nicht nur kostengünstig, es wird auch ein sehr homogener Abtrag und damit eine hohe Ausnutzung des Kathodenwerkstoffs erreicht. So erzielt man lange Standzeiten, die das Abscheiden der wasserstofffreien DLC-Schichten für Serien wirtschaftlich macht. Entnommen aus <a_href="http://www.fiz-technik.de/db/b_tema.htm" target="_blank">TEMA</a>