1986
Conference Paper
Title

Gassensitive MOS-Feldeffekttransistoren mit Gate-Beschichtung aus Ormosil

Author(s)
Obermeier, E.
Kaas, K.-H.
Drost, S.
Endres, H.-E.
Hutter, F.
Schmidt, H.
Mainwork
Conference
Language
German
Keyword(s)