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Konferenzschrift
Mechanische Charakterisierung membranartiger Sonsorstrukturen
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2004
Conference Paper
Title
Mechanische Charakterisierung membranartiger Sonsorstrukturen
Author(s)
Winkler, T.
Seiler, B.
Dost, M.
Brokmann, G.
Übensee, H.
Rümmler, N.
Faust, W.
Sommer, J.-P.
Mainwork
10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband
Conference
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM