Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Da die Mikrosystemtechnik eine Vielzahl unterschiedlichster sensorischer, aktorischer und datenverarbeitender Funktionen integriert, ist auch das Spektrum an benötigten Werkstoffen sehr breit. Es reicht von traditionellen Werkstoffklassen wie Halbleiter, Gläser, Polymere oder Metalle bis hin zu intelligenten nanostrukturierten und maßgeschneiderten Werkstoffen mit besonderen Eigenschaften. Die funktions- und leistungsbestimmenden Strukturen besitzen Abmessungen vom Millimeter- bis hinab in den Nanometerbereich. Ihre Realisierbarkeit beruht auf der genauen Kenntnis der Eigenschaften und fertigungstechnischen Beherrschung eingesetzter Struktur-, Funktions- und Hilfswerkstoffe. Dieser Beitrag gibt einen kurzen Überblick über aktuelle Werkstoffe der Mikrosystemtechnik und Entwicklungsmöglichkeiten.