Faserbasierte UV-Lasersysteme für die Polymerelektronik

Folienpräsentation. Der Einsatz von faserbasierten Ultraviolett-Ultrakurzpulslasern ist gekennzeichnet durch hohe Prozeßgeschwindigkeit (Pulsfrequenz), durch exzellente Bearbeitungsqualität bei minimaler thermischer Beeinträchtigung (Pulsdauer), durch Vorteile bei der Bearbeitung von dünnen Materialien und Schichten sowie durch den Einsatz im Bereich Elektronik, Dünnschicht- und Solarindustrie. Faserbasierte UV-Ultrakurzpulslaser haben folgende typische Parameter: Wellenlänge 355 nm, Ausgangsleistung 12 W, Wiederholfrequenz 80 MHz, Pulslänge unter 50 ps, Strahldurchmesser 2 mm, Leistungsstabilität 2 %. Im Vortrag wird über experimentelle Ergebnisse beim Schneiden und Abtragen von Polyimid berichtet. Als weitere Anwendungsbeispiele werden vorgestellt: selektiver Materialabtrag zur Herstellung von Widerständen und Sicherungselementen, Direktschreiben von elektronischen Strukturen, Dünnschichtbearbeitung von Solarzellen und Flachbildschirmen, Ritzen und Trennen von Wafern.