Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessung

Die stürmischen Entwicklungen in der Nanotechnologie ziehen neuartige Anforderungen an eine produktionsumfeldgerechte Messtechnik nach sich. Ein Schwerpunkt dabei sind Mess- und Auswerteverfahren zur Bestimmung von Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen. Streulichtmethoden bieten sich prinzipiell zur berührungslosen, robusten und effizienten Analyse von Nanostrukturen an /1/, sind jedoch noch weitgehend auf den Einsatz im Labor und entsprechend labortypische Probengeometrien beschränkt. Grundlagen, Konzepte und Strategien für eine fertigungsrelevante Umsetzung bis hin zum prozessintegrierten Einsatz werden daher gegenwärtig im Rahmen des DFG-Schwerpunktprogramms SPP 1159 im Teilprojekt »Funktionsbezogene Bewertung von Nanorauheiten auf fertigungsrelevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren (NanoStreu)« untersucht.

The tremendous development in the field of nanotechnologies results in novel challenges for industry-tailored measurement techniques. This in particular holds for methods to determine roughness as well as functional parameters. Light scattering techniques involve major benefits to meet these requirements. The basics and concepts for their adaptation to close-to-process measurement are investigated in the project NanoScatt, part of the DFG priority programme SPP 1159.