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Abschlussarbeit
Realisierung einer 3-fach Rotationshalterung für Großserienbeschichtungsprozesse zur Abscheidung von metallhaltigen DLC-Schichten
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1999
Diploma Thesis
Title
Realisierung einer 3-fach Rotationshalterung für Großserienbeschichtungsprozesse zur Abscheidung von metallhaltigen DLC-Schichten
Thesis Note
Hamburg, FH, Dipl.-Arb., 1999
Author(s)
Thomsen, H.
Publishing Place
Hamburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST