Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik

Die Problemstellung der Qualitätssicherung im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß von Mikrosystemen kann durch eine genaue Definition der Schnittstellen und deren Spezifikationen eingegrenzt, verbessert und gelöst werden. Eine Scnittstellendefinition und Spezifikationserstellung setzt die Kenntnis der gesamten Prozeßkette, die Durchführung einer FMEA für die einzelnen Glieder der Prozeßkette sowie eine eindeutige und redundanzfreie Darstellung und Dokumentation der Prozesse mit Hilfe z.B. objekt-orientierter Datenmodelle voraus. Die Anwendung dieser Werkzeuge leistet einen wesentliche Beitrag zur Entwicklung zukünftiger Qualitätssicherungssysteme für den arbeitsteiligen Fertigungsprozeß von Mikrosystemen.