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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern
 
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2010
Doctoral Thesis
Titel

Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern

ThesisNote
Zugl.: Dresden, TU, Diss., 2010
Author(s)
Weber, J.C.
Verlag
Verlag Dr. Hut
Verlagsort
München
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
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