Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse

Beschreibung des Flexiblen Fotolithographischen Prozesszentrums. Neues Fertigungskonzept fuer die Halbleiterproduktion. Modularisiertes Geraetesystem mit Schnelltauschmoeglichkeit einzelner Prozessmodule. Modularisiertes Medienver-/Entsorgungssystem mit Medienschnellkopplung. Einsatz lokaler Reinraeume mit SMIF-Schnittstellen. Die Module koennen als Einzelgeraet betrieben werden, zu Prozesszellen zusammengefuegt und ueber Boxentransporteinheiten miteinander zu einer vollautomatischen Fertigungslinie verkettet werden. Ein neues Handhabungskonzept bringt hoechste Flexibilitaet im Materialfluss. (IPA)