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Abschlussarbeit
Abscheiden von Antireflexschichten mit Brechzahlgradient und Rugate-Filtern durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern
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2003
Diploma Thesis
Title
Abscheiden von Antireflexschichten mit Brechzahlgradient und Rugate-Filtern durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern
Thesis Note
Jena, FH, Dipl.-Arb., 2003
Author(s)
Lange, S.
Publishing Place
Jena
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP