CMOS-Auslese-IC für kapazitive Sensoren

Es wird ein Verfahren vorgestellt, Kapazitätsänderungen von Sensorelementen in Spannungsänderungen umzuwandeln. Bei Plattenkondensatoren wird die Abstandsänderung in eine proportionale Spannungsänderung übertragen. Um Sensoren abgleichen zu können, sind Möglichkeiten zur Empfindlichkeits-, Nullpunkt- und Temperaturkompensation vorgesehen. Dieses Verfahren wurde in einem integrierten CMOS-Schaltkreis realisiert. Die einzelnen Baugruppen des ICs, sowie der gesamte IC zusammen mit einem monolithisch integrierten Drucksensor wurden erfolgreich getestet.