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1989
Conference Paper
Title
SOI-Technologien
Abstract
Die Prozeßkomplexität und damit die Prozeßkosten bei der Herstellung integrierter Schaltungen steigen mit dem Übergang zu Submym-Dimensionen dramatisch an. Einen Ausweg aus diesem Problemkreis kann hier die SOI-Technik bieten. In dem Vortrag werden zunächst die Vorteile, die die SOI-Technik bietet, erläutert und dann Herstellungsverfahren für SOI-Strukturen behandelt und bewertet.
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