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Beschichtungsverfahren: Tl.3 - Bedampfen I
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2006
Journal Article
Title
Beschichtungsverfahren: Tl.3 - Bedampfen I
Author(s)
Schultrich, B.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200690036
Language
German
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
