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Konferenzschrift
Zur Anwendbarkeit festkörpermechanischer Modelle im Bereich der Mikroelektronik
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1993
Conference Paper
Title
Zur Anwendbarkeit festkörpermechanischer Modelle im Bereich der Mikroelektronik
Author(s)
Michel, B.
Winkler, T.
Mainwork
Wissenschaftliche Jahrestagung der Gesellschaft für Angewandte Mathematik und Mechanik '93. Proceedings
Conference
Gesellschaft für Angewandte Mathematik und Mechanik (Jahrestagung) 1993
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
