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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
 
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2017
Conference Paper
Title

MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung

Author(s)
Berner, T.
Schulze, R.
Shaporin, Alexey
Forke, Roman  
Otto, Thomas  
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2017. Proceedings  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2017  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
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