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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Algorithmic approaches for system-level simulation of MEMS and aspects of cosimulation
 
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2013
Book Article
Title

Algorithmic approaches for system-level simulation of MEMS and aspects of cosimulation

Author(s)
Schneider, Peter  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Clauß, Christoph
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Donath, Ulrich
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Elst, Günter  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Enge-Rosenblatt, Olaf  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Uhle, Thomas
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Mainwork
System-level Modeling of MEMS  
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Keyword(s)

  • microelectromechanical system

  • MEMS models

  • system-level simulation

  • multibody systems

  • fluidic systems

  • network

  • model description languages

  • mixed-signal simulation

  • Co-Simulation

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