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Mikrostrukturierung/Mikromechanik für die Sensorik
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1988
Book Article
Title
Mikrostrukturierung/Mikromechanik für die Sensorik
Author(s)
Benecke, W.
Heuberger, A.
Mainwork
Technologietrends in der Sensorik. Untersuchung im Auftrag des Bundesministeriums für Forschung und Technologie
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
