EUV Schwarzschild-Objektiv

Schwarzschild-Objektive werden wegen ihrer großen Apertur, der Freiheit von chromatischen Aberrationen und ihrer hohen mechanischen Stabilität zunehmend zur Strahlformung im extrem ultravioletten (EUV) und weichen Röntgenbereich eingesetzt. Die Einsatzmöglichkeiten derartiger Objektive sind vielfältig und reichen von Anwendungen für die EUV-Lithographie bei 13,5 nm über die Grundlagenforschung mit Synchrotronstrahlung bis zu Abbildungsoptiken für Röntgenlaser