1999
Doctoral Thesis
Title

Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika

Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
Author(s)
Roth, H.
Advisor(s)
Ryssel, H.
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German
Keyword(s)