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Bedampfungstechnik. Verfahren, Einrichtungen, Anwendungen
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1976
Book
Title
Bedampfungstechnik. Verfahren, Einrichtungen, Anwendungen
Author(s)
Schiller, S.
Heisig, U.
Corporate Author
Forschungsinstitut Manfred von Ardenne, Dresden
Publisher
Verlag Technik
Publishing Place
Berlin
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP