Qualitätssicherungsstrategie bei der Kleinstserienfertigung von Wasserstoffsensoren auf der Basis von MOS-Bauelementen

Die monolithische Integration von Sensorelementen, Sensorelektronik und Schnittstellen auf einem Siliziumsubstrat gewinnt zunehmend an Bedeutung. Im Herstellungsprozeß konventioneller Einzelsensoren sind qualitätssichernde Maßnahmen üblicherweise implementiert. Für die Fertigung mikroelektronischer Schaltungen existieren ebenfalls Maßnahmen zur Qualitätssicherung. Für die Fertigung von Mikrosystemen sind dagegen zusätzliche qualitätssichernde Maßnahmen erforderlich, die über derzeit existierende Standards hinausgehen und die die Besonderheiten der Kombination vo Sensorelementen und Schaltungskomponenten berücksichtigen.