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Abschlussarbeit
Untersuchungen zur Prozeßoptimierung für die Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid
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1999
Diploma Thesis
Title
Untersuchungen zur Prozeßoptimierung für die Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid
Thesis Note
Zwickau, FH, Dipl.-Arb., 1999
Author(s)
Nestler, M.
Publishing Place
Zwickau
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST