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1997
Conference Proceeding
Title
Smart Fabrication Flexible Fab 1997
Title Supplement
1. Offener Workshop, 11. Juli 1997, München
Corporate Author
Submicron Semiconductor Technologies GmbH
Meissner & Wurst GmbH
Jenoptik AG, Jena
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen -IIS-, Erlangen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt
Conference
Language
German