Systemtechnik in der Gassensorik am Beispiel von CO2-Mikrosensoren: Transducer, Kapselung und Temperaturmodulation

Es wird ein langzeitstabiles Sensorsystem zur Messung von CO2 in einem Bereich von 350 ppm bis 0.5 Vol.-% (natuerlicher CO2 gehalt bis MAK Wert) beschrieben. Es werden alle Systemaspekte vom Transducer (IDK, QMB, SAW) ueber die Beschichtungstechnologie, Verfahren zu Querempfindlichkeitsunterdrueckung bis hin zu Methoden zur Verbesserung der Langzeitstabilitaet beschrieben. Der Messbereich des Sensorsystems liegt in dem fuer Innenraeume wichtigen Bereich von 0.03 - 0.5 Vol.-% CO2.