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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme
 
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2012
Conference Paper
Title

Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme

Other Title
Laser-based multilayer joining process for heterogeneous and pressure stable microfluidic systems
Author(s)
Geidel, S.
Enderlein, Tom  
Morschhauser, Andreas  
Nestler, J.
Otto, Thomas  
Geßner, Thomas  
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik  
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2012  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
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