Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls

Sol-Fertigung nur inhouse, Entwicklung in Instituten. Erhöhung der Schichtdicke je Beschichtungszyklus. Prozeßvereinfachung durch photosensitive Sole, Auswahl der für das Belichten erforderlichen Lasertechnik. Reduzierung der thermischen Belastung des prozessierten Wafers durch Brennen der Sol-Gel-Schichten mit Laser. Neue Mikrosysteme mit Sol-Gel-Schichten in Sensoren / Aktoren sind denkbar: - Behaglichkeitssystem (Temperatur, Feuchte) - Wettersturzanzeige (Temperatur, Feuchte, Druck, Betauung) - Korrosionswarnung (Temperatur, Feuchte, Betauung, Gase) - Klimawächter. Neue Toolideen bei der Fertigungsoptimierung von Mikrosystemen.