Der "Zauberspiegel" als Messprinzip

Am Fraunhofer IISB wurde ein Sensor zur Oberflächeninspektion entwickelt, der auf der relativ unbekannten "Makyoh"-Methode basiert. Er wird zur Topographiebestimmung von Halbleiterscheiben eingesetzt und hat sich als leistungsfähiger Ansatz zur großflächigen Ebenheitsmessung von spiegelnden Oberflächen aller Art erwiesen.