AVT als Basis erfolgreicher MEMS-Kommerzialisierung

Die Entwicklung von Mikrosystemen hat in Industrie und Forschung bereits erstaunliche Fortschritte gemacht. Dennoch ist nur einem kleinen Teil dieser Systeme der Markterfolg gelungen. Neben funktionellen Defiziten hemmen vor allem hohe Kosten für die Aufbau- und Verbindungstechnik die erfolgreiche Kommerzialisierung von Mikrosystemen. Ein synergetischer Entwicklungsprozess von der Entwurfsphase bis hin zum anwendungsspezifisch optimalen AVT-Konzept erweist sich hierbei als zentraler Erfolgsfaktor.