Mikromechanische Aktuatoren mit leistungsgesteuertem Antrieb

Mikromechanische Aktuatoren erlangen für unterschiedlichste Anwendungs- und Industriezweige eine immer stärker werdende Bedeutung, da die Leistungsmerkmale dieser neuen Generation von Bauelementen durch die Möglichkeiten der Miniaturisierung und der Integration mit Sensoren und integrierten Schaltkreisen eine völlig neue Dimension erreichen. Thermomechanische, leistungsgesteuerte mikromechanische Aktuatoren werden hinsichtlich ihrer Eigenschaften und der Herstellungstechnologien beschrieben. Das elektromechanische Übertragungsverhalten wird anhand experimenteller Ergebnisse beschrieben und diskutiert. Die Bauelemente zeichnen sich durch eine hohe Kompatibilität hinsichtlich ihrer Herstellungstechnologien und ihrer Betriebsbedingungen zu integrierten Schaltungen aus. Verschiedene Anwendungsmöglichkeiten werden aufgezeigt.