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Entwicklung halbleitender Diamantschichten und deren Qualifikation als Material für aktive elektronische Bauelemente. 4. Zwischenbericht
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1996
Report
Title
Entwicklung halbleitender Diamantschichten und deren Qualifikation als Material für aktive elektronische Bauelemente. 4. Zwischenbericht
Author(s)
Jiang, X.
Klages, C.-P.
Paul, M.
Six, R.
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig
Publisher
IST
Publishing Place
Braunschweig
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Keyword(s)
halbleitende Diamantschicht