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Moeglichkeiten der Duennfilmtechnologie bei der Entwicklung von Sensoren
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1983
Book Article
Title
Moeglichkeiten der Duennfilmtechnologie bei der Entwicklung von Sensoren
Author(s)
Obermeier, E.
Mainwork
Seminarband zum Seminar des VDI-TZ "Moderne Sensortechnologie", Friedrichsdorf
Language
German
IFT
Keyword(s)
Dünnfilmtechnologie
sensor
Transductor
