2001
Diploma Thesis
Title

Untersuchung der Möglichkeiten zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenität beim Sputtern mit dem Doppelring-Magnetron durch zentrische und exzentrische Substratrotation

Thesis Note
Zwickau, FH, Dipl.-Arb., 2001
Author(s)
Gumprich, S.
Publishing Place
Zwickau
Language
German