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Oberflächenmodifizierung mit Licht
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2015
Report
Title
Oberflächenmodifizierung mit Licht
Author(s)
Schmüser, Christian
Publisher
Fraunhofer IFAM
Publishing Place
Bremen
File(s)
Download (8.04 MB)
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Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-297237
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
Keyword(s)
Oberflächenmodifizierung
Licht
Abbau
Ätzen
surface modification
light
etching
silicon