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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Oberflächenmodifizierung mit Licht
 
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2015
Report
Title

Oberflächenmodifizierung mit Licht

Author(s)
Schmüser, Christian
Publisher
Fraunhofer IFAM
Publishing Place
Bremen
File(s)
Download (8.04 MB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-297237
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM  
Keyword(s)
  • Oberflächenmodifizierung

  • Licht

  • Abbau

  • Ätzen

  • surface modification

  • light

  • etching

  • silicon

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