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Konferenzschrift
Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel
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2014
Conference Paper
Title
Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel
Author(s)
Weidlich, Sebastian
Forke, Roman
Konietzka, S.
Hiller, Karla
Geßner, Thomas
Mainwork
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
