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Konferenzschrift
Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
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2003
Conference Paper
Title
Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
Author(s)
Bräuer, G.
Mainwork
Herstellung dünner Schichten
Conference
Fachforum "Herstellung Dünner Schichten" 2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
