Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen im Reinraum gewinnt zunehmend, aus Gründen der Kontaminationsminimierung, an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme sind in der Regel nach funktionalen Gesichtspunkten entwickelt. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie die Modifikation zum Zweck der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse dieser Arbeit werden in 10 Richtlinien zusammengefasst. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimalen Partikelemissionen zu entwickeln.