Hochionisierte Abscheideverfahren für Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Hochionisiertes Magnetronsputtern bietet hier die Möglichkeit, glatte Schichten mit sehr guten Eigenschaften zu realisieren.