Weißlichtinterferometer zum Prüfen mikrostrukturierter Oberflächen

Die Qualitätssicherung beim Fertigen von Mikrooptik- und Mikromechanikkomponenten erfordert das Vermessen (mikro-)strukturierter Oberflächen mit Strukturtiefen bis zu einigen 100 Mikrometer mit Nanometerauflösung. Die vertikal scannende Weißlichtinterferometrie kann mit derartigen Anforderungen Schritt halten. Nur so wird das hoch auflösende Vermessen sowohl unterschiedlichst strukturierter Oberflächen, zum Beispiel spezieller mikrooptischer und -mechanischer Bauelemente, als auch glatter stetiger Oberflächen mit einem Messverfahren möglich.