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Konferenzschrift
Neue Technologie in der Herstellung - neue Chance am Markt
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2007
Conference Paper
Title
Neue Technologie in der Herstellung - neue Chance am Markt
Author(s)
Thieme, T.
Bertz, A.
Gessner, T.
Dittrich, C.
Mainwork
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2007
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM