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Konferenzschrift
Mechanische und thermische Zuverlässigkeit von Komponenten und Bauteilen der Mikrosystemtechnik
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1994
Conference Paper
Title
Mechanische und thermische Zuverlässigkeit von Komponenten und Bauteilen der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Michel, B.
Reichl, H.
Mainwork
Micro Engineering '94. Tagungsunterlagen
Conference
Micro-Engineering 1994
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM