Luftgetragene molekulare Verunreinigungen (ACC). Aktuelle Forschungsergebnisse

Die Kontamination der Reinraum- und Prozessluft mit chemischen Verbindungen spielt neben der partikulären Kontaminationeine immer größere Rolle. ISO 14644-8 nennt diese Kontaminationsart "airborne contamination by chemicals (ACC)". Soll ein Reinraum mit einer geringen ACC-Belastung geplant und errichtet werden, dürfen nur Konstruktionsmaterialien mit einer sehr geringen bis nicht messbaren ACC-Emissionsrate verwendet werden. Besonders von Interesse sind flüchtige organische Verbindungen (VOC) und folgende prozesskritische Verbindungsklassen: Siloxane, Amine/Ammoniak, Phthalate und Organophosphate. Im Vortrag wird kurz auf deren Schädigungspotential eingegangen. Weiterhin wird eine standardisierte Methode mit der zugrunde liegenden Messtechnik vorgestellt, mit welcher zahlreiche reinraumtaugliche Materialien bezüglich deren ACC-Emissionsrate klassifiziert wurden. Mehrere Reinräume wurden mit Hilfe eines Modells zur Abschätzung der zu erreichenden ACC-Qualität geplant und errichtet. Validierungsmessungen zeigten den Erfolg einer gezielten Materialauswahl für den Reinraumbau. Es konnte ohne zusätzliche ACC-Filtration dieselbe Luftqualität im Reinraum wie die der Außenluft erreicht werden.