Interferometrische Verfahren zur Rauhheitsmessung

Es werden Verfahren zur Messung der Oberflächenrauheit beschrieben, die die Lichtwellenlänge zur Messung benutzen und auf Interferenzerscheinungen beruhen. Diese Verfahren werden bisher zur Messung sehr glatter Oberflächen eingesetzt. Die Messprinzipien sowie die Vor- und Nachteile dieser Verfahren werden dargestellt.