Allseitige Innenbeschichtung von fluidischen Systemen

Für die Innenbeschichtung von gedeckelten fluidischen Systemen mit Atmosphärendruck-Plasmen wurde der Einfluss verschiedener Beschichtungsparameter auf das Schichtdickenprofil untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass bei extrem langen Kanälen der Prekursor vor Erreichen des Gasauslasses vollständig verbraucht und der Kanal nicht vollständig beschichtet wird. Durch geeignete Wahl der Parameter für Prozessgasgeschwindigkeit, Prekursorkonzentration und Beschichtungszeit kann bei hinreichend kurzen Kanälen bereits der Schichtdickenverlauf optimiert werden. Für extrem lange Kanäle kann der Schichtdickenverlauf nur durch Pulsung des Plasmas über die gesamte Kanallänge homogenisiert werden. Dabei wirken sich kurze Pulse und lange Pausen besonders günstig auf das angestrebte Ergebnis aus. Nachteilig ist jedoch, dass sich dadurch die Schichtrate bezogen auf die Gesamtprozesszeit verringert.